产品/技术名称

菲索干涉仪

简介

4寸菲索干涉仪通过对基于空域和时域测量数据的融合，实现高精度表面误差的提取。采用整体误差分配及优化策略，保证测量精度。设计的抗震算法可保证干涉仪在较恶劣的环境下实现测量。

技术参数

通光口径：Ф100mm

分辩率：1K×1K（可定制2K×2K)

系统重复性：RMS 0.1nm

参考面精度：RMS λ/100（可定制RMS λ/200)

测量类型：平面、球面

成熟程度

原理样机

产品实物