产品/技术名称

三维微纳形貌测量仪

简介

基于白光干涉扫描原理，以光波长作为测量基准，利用纳米级高精度扫描系统结合具有自主知识产权的高精度解析算法，实现连续或台阶突变微纳结构表面三维形貌重构。适用于玻璃镜片、镀膜表面、晶圆、光碟/影碟、精密微机电元件、平面液晶显示器、高密度线路印刷电路板、IC封装、材料分析与微表面研究等各种材料与微组件表面特征和微尺寸的检测。

技术参数

测量精度：在普通实验室环境下，测量重复性达到1nm。    

测量范围：单场扫描范围可达到4mm。     

全自动测量：标配自动检焦功能，无需复杂调节过程，一键操作即可完成调焦、检测全过程。选配自动二维平台，可自动完成大面积三维数据拼接操作。

成熟程度

原理样机

样机实物