产品/技术名称

大口径球面光学元件表面缺陷自动检测仪

简介

大口径球面光学元件表面缺陷自动检测仪，采用自主设计的全方位均匀照明系统和基于线扫描的快速采集与拼接方法，结合高速数据采集、传输和存储系统，可实现最大口径达150毫米的超精密球面光学元件表面划痕和麻点的快速自动检测。该设备可应用于各类超精密平面/球面光学元件、手机盖板玻璃及金属、陶瓷的表面缺陷检测。

技术参数

   检测分辨率：0.003 mm

   检测时间：< 3min

   检测重复性：> 98%

   最大检测口径：平面200mm，球面150mm

   最大检测矢高：25mm

   检测环境：1000级洁净度

   设备尺寸（L×W×H）：880 mm×780 mm×1150 mm

成熟程度

原理样机

设备展示

测试结果类比

缺陷样例：宽度6.7-9.6μm  深度4.1-7.9nm

与白光干涉仪测试结果一致