产品/技术名称

厚度均匀性测量仪

简介

厚度均匀性测量仪，用以测量光刻、微结构光学元件基底、靶材料(如硅片、玻璃、金属薄膜等)的厚度一致性。

产品特点：

1.光学非接触式测量，不会对被测件产生损伤；

2.一键式半自动测量，生成厚度不一致分布三维图像；

3.可用于多种被测尺寸；

4.极高的精确度和测量重复性。

技术参数

   可测量厚度：10μm～10mm；

   测量尺寸：200mm,150mm,100mm(可根据要求定制)；

   测量绝对误差:<100nm；

   重复性测试误差：<50nm。

成熟程度

原理样机

样机实物图

样机示意图