一种掩模与基底六自由度对准装置
- 发布时间:2018.04.09
专利名称 |
一种掩模与基底六自由度对准装置 |
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申请号 |
201410607056.3 |
专利类型 |
发明专利 |
申请日 |
2014-10-30 |
授权日 |
2015-12-02 |
公开号 |
104331116B |
分类号 |
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发明人 |
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专利权人 |
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摘要 |
本发明提供一种掩模与基底六自由度对准装置,含有掩模、掩模支架、弹性簧片、压簧片、压簧预紧、Y手轮、拉簧预紧、基底、基底支架、X手轮、基座、压紧螺钉;掩模支架为圆盘形状,用于承载掩模;弹性簧片具有内环及三个凸起,内环通过螺钉与掩模支架连接,三个凸起通过螺钉与基座凸面连接;压簧片一端与基座支撑面通过螺钉连接,另一端压在基底支架肩面上;压簧预紧与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切;Y手轮包括Y1手轮及Y2手轮,与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切;拉簧预紧一端与基座支撑面通过螺钉连接,另一端与基底支架通过螺钉连接。本发明结构紧凑,适用于空间狭小的环境,并可完成掩模与基底的六自由度高精度对准。 |