专利名称

一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛

申请号

201410478006.X

专利类型

发明专利

申请日

2014-09-18

授权日

2016-09-21

公开号

104199135B

分类号

 G02B5/18(2006.01)I

 G03F7/20(2006.01)I

发明人

 严伟、何渝、李艳丽、唐燕、赵立新、胡松

专利权人

中国科学院光电技术研究所

摘要

    本发明公开了一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛。该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布，分布按公式rmn2＝2nfmnλ+n2λ2，其中rmn为环带半径；n为圆孔所在环带的环数；fmn为第m号扇区内第n环所对应的焦距；λ为波长。对应rmn上的透光孔的直径为其中wmn为环带宽度；λ为波长；fmn为第m号扇区内第n环所对应的焦距；rmn为环带半径。本发明突破原有固定焦点设计的思想，针对于在不影响分辨力的情况下，采用光子筛扇形分区设计，实现多焦点部分重叠，有效增大焦深，为光子筛直写光刻的实用化奠定基础。