团队简介：超精密光学技术与装备研发团队致力于超精密光学设计、加工、检测、系统集成以及高端光学仪器与装备研发。团队成员七十余名，技术人员主要由毕业于国内名校的博士、硕士组成。具备超净厂房和温控、隔振等高精度检测及装配集成所需条件，拥有价值超过2亿元的超精密光学制造与研发平台。技术服务范围包括： 光学设计，系统开发，超精密光学制造，高精度测量与标定等。

 

   （1）光学设计           

    光学设计团队人员结构合理，在大型光学仪器/设备、超精密光刻物镜系统等方面具备丰富的工程设计经验。拥有多套世界上最先进的光学设计仿真软件CODEV和LIGHTTOOLS，并结合复杂光学系统设计需求，对软件进行了二次开发，发展了一整套自定义面形的设计方法和理论。光学设计实例包括：用于光刻物镜像质补偿的高阶复杂自由曲面、单片式扫描用fθ镜、采用了共体光学件（两片反射镜在一个元件上）的空间全反观测系统和地面望远镜，以及不同数值孔径的极小像差光刻物镜系统。

                                       设计案例

  

  （2）光学制造           

    具备加工300mm口径以内各类光学玻璃材料平面、球面、非球面、柱面、锥镜等透镜和反射镜加工能力，拥有支持完整工艺链的高端数控加工设备二十余套，包括铣磨机、抛光机、磁流变、离子束、超光滑平台等。    

    加工指标：    

       （a）平面/球面光学元件：面形精度优于0.3nm RMS，表面粗糙度优于0.2nmRMS。    

       （b）非球面光学元件：面形精度优于1nm RMS，表面粗糙度优于0.3nmRMS。

                                                                                            加工设备

  

   （3）光学检测           

    具备平面、球面和非球面光学元件全频段（低频、中频、高频）深亚纳米精度的检测能力。拥有高精度大口径干涉仪、白光干涉仪、原子力显微镜及配套的高精度温控（优于±0.02℃），以及轮廓仪、三坐标、非球面轮廓仪和拼接干涉仪等高性能设备。 

 

                                检测设备

 

                           典型光学加工和检测结果

 

                                   产品实物

    

     （4）光学镀膜

         提供深紫外/真空紫外（120nm~300nm）波段光学增透膜以及滤光片，为国内物理所、理化所、空间中心、高能所提供了优质的深紫外光学薄膜，运用于空间探测、暗物质探测、深紫外固体激光器等先进设备。具备世界最顶尖的光刻机镜头镀膜技术，能实现所有镜头薄膜厚度和光谱均匀性99%以上。

                                                       镀膜及相关设备 

   

   （5）光学装校           

    光学装校集装校工程应用和装校工艺研究为一体，长期致力于各种类型大口径光电经纬仪、各种高精度镜头以及离轴光学系统等特殊结构光学系统的光学装配集成工作，经过多年的技术和经验积累，拥有大批比肩国际的自主研发的装校工装设备。    

    

     装校能力：

        （1）大口径、多光轴、多谱段光电经纬仪、望远镜的精密装调；    

        （2）红外、可见、紫外高精度镜头（口径：Φ5mm~Φ600mm；面形精度：rms≥0.2nm；偏心精度：≥0.2″），包括超广角镜头、超精密紫外光刻物镜等多种超精密镜头、多反射镜、多谱段离轴光学系统的精密装调    

    

     装校设备和检测设备：   

     口径达800mm精度0.1″的各类型多谱段高精度中心偏；可车削口径达650mm车削精度0.2um的超精密立式定心车床；4D动态激光干涉仪；高精度哈特曼传感器；Φ380mm I-SITE红外传函仪；各类型平行光管（最大Φ700mm）；测量精度±0.15um的非接触式镜面定位仪等。

                                                                                  装调设备