专利名称 

一种测量圆形光学平面表面粗糙度的取样方法

申请号 

201410091461.4

专利类型 

发明专利

申请日 

2014-03-13

授权日 

2017-11-24

公开号

 103837102B

分类号

 G01B11/30(2006.01)I

发明人 

 孟凯、万勇建、伍凡、申立军

专利权人 

中国科学院光电技术研究所 

摘要 

    本发明公开一种测量圆形光学平面表面粗糙度的取样方法，包括步骤：步骤S1：根据圆形光学平面的尺寸和精度要求，设定取样区域的数目为m，每个取样区域取一个采样点则共有m个取样点；步骤S2：确定每个取样区域中心在极坐标系下的角度坐标；步骤S3：确定每个取样区域中心对应的极轴坐标；步骤S4：由步骤2和步骤3，得到每个取样区域中心在极坐标系下的坐标；步骤S5：在圆形光学平面上以圆心为极点，从圆心任取一条射线作为极轴，从极轴沿逆时针为正方向建立极坐标系，在圆形光学平面上标记步骤S4取样区域中心在极坐标系下的坐标；步骤S6：使用粗糙度测量仪器在步骤5标记的取样区域测量粗糙度。本发明广泛应用于平面光学元件粗糙度的测量中。