一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜层的制备方法
  • 发布人:成果转化处
  • 发布时间:2018.04.09

专利名称 

一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜层的制备方法

申请号 

201410614079.7

专利类型 

发明专利

申请日 

2014-11-04

授权日 

2017-02-15

公开号

104328378A

分类号

 C23C14/26(2006.01)I

发明人 

 裴文俊刘洪祥

专利权人 

中国科学院光电技术研究所 

摘要 

    本发明提供一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜的制备方法,采用的膜层序列为Sub/CrNx/Ag/CrNx/SiOx/Air,制备过程中所有的蒸发源位于镜面上方,逆向热蒸发;承载铬(Cr)材料的主要部件为钨杆,承载银(Ag)材料的主要部件为钨丝环,保护膜材料为一氧化硅(SiO),装载于钽蒸发舟中;在氮气(N2)环境中蒸发Cr形成CrNx,在氧气(O2)环境中蒸发SiO形成SiOx。本发明具有工艺简单、操作方便、设备与材料成本低的优点,能够规避大型光学元件翻面带来的风险。

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