一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜层的制备方法
- 发布时间:2018.04.09
专利名称 |
一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜层的制备方法 |
||
申请号 |
201410614079.7 |
专利类型 |
发明专利 |
申请日 |
2014-11-04 |
授权日 |
2017-02-15 |
公开号 |
104328378A |
分类号 |
|
发明人 |
|||
专利权人 |
|||
摘要 |
本发明提供一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜的制备方法,采用的膜层序列为Sub/CrNx/Ag/CrNx/SiOx/Air,制备过程中所有的蒸发源位于镜面上方,逆向热蒸发;承载铬(Cr)材料的主要部件为钨杆,承载银(Ag)材料的主要部件为钨丝环,保护膜材料为一氧化硅(SiO),装载于钽蒸发舟中;在氮气(N2)环境中蒸发Cr形成CrNx,在氧气(O2)环境中蒸发SiO形成SiOx。本发明具有工艺简单、操作方便、设备与材料成本低的优点,能够规避大型光学元件翻面带来的风险。 |