专利名称 

一种用于延长准分子激光器激光工作气体寿命的气体管理方法

申请号 

201410608396.8

专利类型 

发明专利

申请日 

2014-11-02

授权日 

2017-06-13

公开号

 104332806B

分类号

H01S3/036(2006.01)

发明人 

李斌成、王强、韩艳玲

专利权人 

中国科学院光电技术研究所 

摘要 

    本发明提供一种用于延长准分子激光器激光工作气体寿命的气体管理方法，准分子激光器工作期间由于激光腔内卤素气体含量的减少和杂质含量的增加，激光器输出脉冲能量不断下降。通过激光腔内部分置换激光工作气体方式，可以有效补充激光腔内消耗的卤素气体，同时阻止杂质的积累。气体管理方法通过分析部分换气前后激光腔内卤素气体含量及杂质含量的变化，控制部分换气剂量和卤素气体注入剂量，使得每次部分换气后激光腔内卤素气体含量和杂质含量保持不变，维持恒脉冲能量输出模式下工作的准分子激光器在一定工作电压变化范围内或者恒工作电压模式下工作的准分子激光器在一定脉冲能量变化范围内长时间不间断工作。本发明能够有效延长准分子激光器工作气体寿命，提高准分子激光器工作效率。