专利名称 

一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法

申请号 

201210307876.1

专利类型 

发明专利

申请日 

2012-08-27

授权日 

2014-09-10

公开号

102808153B

分类号

 C23C14/24(2006.01)I

发明人 

 刘洪祥、裴文俊

专利权人 

中国科学院光电技术研究所 

摘要 

     本发明提供一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法，其采用主镜面朝上、保护膜蒸发源位于镜面上方，自上向下的制备方式，保护膜材料为一氧化硅（SiO），装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升华向下蒸发，通过氧化作用生成透明、牢固的SiOx(1< x< 2)保护膜层。本发明提供一种铝反射膜介质保护膜层的制备方法，能够极大地延长铝反射膜的使用寿命。