专利名称 

一种同时测量光学元件吸收损耗和表面热变形量的方法

申请号 

200610165084.X

专利类型 

发明专利

申请日 

2006-12-13

授权日 

2010-05-19

公开号

 1971233B

分类号

 G01M11/00(2006.01)I

发明人 

 李斌成

专利权人 

中国科学院光电技术研究所 

摘要 

     一种同时测量光学元件吸收损耗和表面热变形量的方法，其特征在于：采用激光量热和表面热透镜联合技术同时测量光学元件的吸收损耗绝对值和表面热变形量，并可监视激光照射过程中光学元件吸收损耗的实时变化。本方法通过测量加热激光束照射过程中光学元件的温度变化得到其吸收损耗值，并通过测量光学元件因吸收加热激光束能量产生的表面热变形导致的探测激光束中心光强变化幅值得到表面热变形量，通过监测探测光束中心光强的实时变化监视吸收损耗的实时变化及光学元件性能的稳定性。