一种基于哈特曼波前检测原理的检焦方法
- 发布时间:2018.04.09
专利名称 |
一种基于哈特曼波前检测原理的检焦方法 |
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申请号 |
201410479415.1 |
专利类型 |
发明专利 |
申请日 |
2014-09-19 |
授权日 |
2017-02-15 |
公开号 |
104198164B |
分类号 |
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发明人 |
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专利权人 |
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摘要 |
本发明涉及一种基于哈特曼波前检测原理的检焦方法,其作用是实时检测光刻机系统的硅片位置,完成硅片的高精度调平和调焦。利用微透镜阵列对携带有硅片位置信息的波前进行检测,根据哈特曼波前检测原理,微透镜阵列的各个子单元将球面波波前分割,并成像于各自的焦面上。当硅片位于焦面位置时,微透镜阵列入射波前为平面波,衍射光斑位于微透镜阵列各个子单元的焦点上;当硅片存在离焦时,微透镜阵列入射波前为球面波,衍射光斑在微透镜阵列焦面上产生偏移。根据哈特曼波前检测原理,通过微透镜阵列对平面和球面波前成像光斑偏移,即可完成球面波前检测,从而完成硅片离焦测量。该检焦系统结构简单、精度和效率较高,适用于各类光刻机的高精度、实时性检焦测量。 |
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