基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法
- 发布时间:2018.04.09
专利名称 |
基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法 |
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申请号 |
201410157861.0 |
专利类型 |
发明专利 |
申请日 |
2014-04-18 |
授权日 |
2016-09-28 |
公开号 |
103900493B |
分类号 |
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发明人 |
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专利权人 |
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摘要 |
本发明一种基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法,利用由数字微镜阵列、成像单元、半透半反镜、白光光源、干涉显微物镜、待测物体、工件台、控制单元、光谱仪、光纤、光纤耦合单元组成的装置,将扩束准直白光通过半透半反镜将白光分别投射到待测物体表面和干涉显微镜内部的参考镜表面并反射光发生干涉,再经过半透半反镜,获得干涉光强并经成像单元成像到数字微镜阵列表面;逐一控制数字微镜阵列的像素对应微镜偏转角度,使不同像素对应干涉光强逐一进入光纤耦合单元,光谱仪获得干涉光强对应的光谱信息传入控制单元并对干涉光强对应的光谱分布进行相位解析,求得待测物体表面相对高度。本发明结构简化,测量精度高、抗干扰能力强。 |