专利名称

一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料

申请号 

201310234613.7

专利类型 

发明专利

申请日 

2013-06-14

授权日 

2016-03-30

公开号

103279011B

分类号

G03F7/075(2006.01)I

发明人 

李志炜、张满、杨勇、胡松、邱传凯

专利权人

中国科学院光电技术研究所 

摘要 

一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料，由低粘度、多官能度的液体预聚物、光引发剂、助剂与稀释剂组成。低粘度、多官能度液体预聚物由（含硅）巯基单体和（含硅）烯烃单体组成。（含硅）巯基单体和（含硅）烯烃单体均含有两个或两个以上的可固化交联官能团，可固化交联官能团为巯基或碳碳不饱和双键。液体预聚物占材料总质量的5%-90%，稀释剂质量占材料总质量的95%-10%，光引发剂质量为液体预聚物质量的1%-5%，助剂质量为液体预聚物质量的0.01%-10%。本发明具有低粘度、快速固化、可在空气中完全固化、低收缩率的特点，基于旋转涂膜工艺，可作为紫外光固化纳米压印胶使用，实现大面积紫外光固化纳米压印，经济高效地生产出关键尺寸小于100纳米的图案。