专利名称

一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜

申请号

201410543114.0

专利类型

发明专利

申请日

2014-10-14

授权日

2017-06-13

公开号

104238092B

分类号

G02B13/22

发明人

刘俊伯、程依光、赵立新、胡松

专利权人

中国科学院光电技术研究所

摘要

    本发明公开了一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜，其采用了双远心、14片结构，工作波长为i线(365nm)。该物镜光学共轭总长(物方到像方)L＝500mm，物方、像方工作距均为60mm。物方有效视场为75mm×75mm，物方数值孔径NA＝0.055。经过面型优化和机械结构微调后，该光刻投影物镜像方分辨力能达到<5mm。该光刻机的投影物镜的数值孔径较高，可以有效提高光刻分辨力；该光刻机的投影物镜的总片数较少，且未采用非球面，可以在有效平衡像差的同时，降低加工装配的难度；该光刻机的投影物镜的光学共轭距较短，可以很好地集成入小型化光刻设备之中。