专利名称

一种径向零附加力转台

申请号

201410273266.3

专利类型

发明专利

申请日

2014-06-18

授权日

2016-08-31

公开号

104049471B

分类号

G03F7/20(2006.01)I

发明人

周清华、胡松

专利权人

中国科学院光电技术研究所

摘要

    本发明公开了一种径向零附加力转台，包括基座，轴承端盖，前面板，摩擦轮，轴承，台阶轴，小轴承，轴销，垫片，电机，电机座，联轴器，固定轴承，滚轮座，滚轮，支撑轴承，挡圈，垫块，工作台，编码盘，以及转盘。其中基座，轴承端盖，前面板，摩擦轮，轴承，台阶轴，小轴承，轴销，电机，电机座，联轴器，固定轴承，滚轮座，滚轮，支撑轴承，挡圈和垫块组成转台的驱动机构；工作台，编码盘和转盘组成转台的导向测量机构。驱动机构通过轴承和转盘上的“U型槽”实现耦合，进而实现对转台的工作台的旋转驱动，同时不增加工作台径向驱动力，保证工作台的旋转稳定性。